RC corner,这里的RC指gate跟network的寄生参数,寄生参数抽取工具根据电路的物理信息,抽取出电路的电阻电容值,再以寄生参数文件输入给STA工具,常见的寄生参数文件格式为SPEF。
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ICer都知道在集成电路中是多层走线的,专业术语叫metal layer,不同工艺有不同层metal layer,任何两层metal layer间由介电材料隔离,『走线』通过过孔(VIA)连接。Width跟Spacing是衡量绕线的两条最重要的物理设计规则,它们随着工艺的进步逐步减小。 介电材料、绕线材料、线间距、线宽及线的厚度这些物理特性决定了network的RC值。
![](https://img.kancloud.cn/36/c0/36c0bbd759e21962f92f905d447ba292_953x711.png)
**Network电容:**
* 耦合电容:Coupling capacitance=e\*T/S
* 表面电容:Surface capcitance=e\*W/H
* 边缘电容:Fringe capcitance
**决定容值的因素:**
* 介电常数:e
* 线宽:W
* 线厚:T
* 线间距:S
* 介电材料的厚度:H
随着工艺进步,W, S, T 逐代递减,表面电容跟随减小,耦合电容随之增加,耦合电容在总电容中占比增加,当线厚 T 一定时为了减少耦合电容要么增加线间距要么减小介电常数。通常为了减小噪声敏感信号线(如clock net)上的耦合电容,在物理实现时会人为增加对应信号的线宽及线间距,俗称NDR。要减小介电常数需要从材料入手,从 .18开始引入low K介电材料。
**Network电阻:**
R=r/W\*T, r为电阻率,除了跟线宽 W 和线厚 T 相关之外,还跟温度相关,随着温度的上升而增大。
![](https://img.kancloud.cn/d3/8c/d38cba80197b8f944e8b4dbcbdab5b27_1915x516.png)
由上面的分析可知,Network的单位电容和单位电阻是不可能同时最大或同时最小的。有了这些铺垫,来看一下不同工艺结点是如何定义RC corner的。
90nm 之前,Cell delay占主导,Network电容主要是对地电容,STA只需要两个RC corner即可:
* Cbest(Cmin): 电容最小电阻最大
* Cworst(Cmax):电容最大电阻最小
90nm 之后,netdelay的比重越来越大,而且network的耦合电容不可忽略,所以又增加了两个RC corner:
* RCbest(XTALK corner): 耦合电容最大,(对地电容\*电阻)最小
* RCworst(Delay corner): 耦合电容最小,(对地电容\*电阻)最大
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